2026/9/17(木)

スパッタリング用に電極の制作をした。のだが、はっきりいって微妙な設計だ。保守しづらい。

放電部が平面になっててくれた方が良いかと思って上図のような設計にしたのだが、ねじを締めるのがとんでもなくやりづらい。ちょっと考えれば分かることだった。しかもこいつは瓶の中に入れることになるので猶更だ。

さらに言えば、固定部と電極板部をどう固定するかも考えていなかった。陽極側はもう半田付けで強制固定してしまったが、陰極側はターゲットになるので、できればつけ外しが容易であって欲しいという要請がある。はんだ付けするわけにはいかない。

とりあえずは針金で固定したが、改善案として以下のような構造を考えた。明日以降もうちょい改良案を考えつつ試作する。

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