シリコンの酸化膜形成に関して必要な設備の調査をした。電気炉を使って酸素雰囲気で焼けばいいと思っていたのだが、一般的な電気炉は大気を超える酸素雰囲気に耐えられるものではなく、専用の炉が必要らしい。ChatGPTの言をアテにすれば石英管炉を使うのが普通だそうだ。SiO2内壁なら元から酸化されてるし高温に耐えるからイケるということなんだろう。

ただし石英管の強みは耐酸素だけでなく透明度とかもある。つまり酸素雰囲気での加熱以外が目的のケースは全然ある。石英管を使える製品だからといって酸素対応をアテにできるわけではない。まあ石英管が無事でも密閉部分とかが耐えられなかったらそりゃ死ぬわな。

明確に酸素雰囲気に対応している製品を探すともう実験室とか工場とかにドンと置く姿しか想像できないようなバケモンしか見つからない。自分としては卓上に置けるサイズ感の炉でお気軽に実験したいのだが、そうは問屋が卸さないのだろうか。