スパッタリングターゲットの設計について調べた。固定は外周部で行うのが良さそうだ。どうやらシールドというものを使うことが多いらしい。何の工夫もしなければ負極全体がイオン衝撃を受けて固定具までスパッタされるので、ターゲット前面だけをスパッタさせるためにそういうのをやるそうだ。確かに、放電させてみたときは負極の先端だけではなく全体がぼやっと青白いプラズマに包まれていた。

負極は負の高電圧にするのに対して、シールドは0Vにする。じゃあ放電するじゃないかと思うがそうでもないらしい。隙間が狭いとむしろ電子が加速できず持続的な放電ができないのだとか。この辺はちゃんと計算か実験してみないとピンとこなさそうだ。

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メイドインアビスの15巻を読んだ。つくし先生、前はもっと一般向けのオブラートに包むの上手くありませんでしたか？「あわせっこ」ってなんですか？？