スパッタリングの実験を進めた。プラズマの制御がぜんぜんうまくいかない。

とりあえず磁石の配置は後にして、まずは電圧電流をちゃんと制御しようと思った。高圧出力と電極を直結するとすぐに火花放電を起こして放電が途切れるので、現状は数kΩの電流制限抵抗を付けてグロー放電を起こしている。

正規グロー放電には定電圧特性があり、そこで安定しているはずである。適当に放電させてスライダックを回したところ、430V前後で定電圧特性が出た。電流は0.1～0.5mAくらいだったので、もうちょっと増やさないと使い物にならない。しかしこれ以上増やすと抵抗が燃えるのが目に見えている。

ちょうど高圧トランスのオマケでパワーリレーも手に入っていたので、これで放電開始と放電維持のモード切替を行うことにした。20kΩと1.6kΩを直列に繋ぎ、放電開始時は高抵抗でグロー放電を安定させる。それから電圧を下げ、20kΩを短絡して低抵抗にする。これは上手くいくだろうと思ったのだが、案外うまく行かなかった。低抵抗にした瞬間に放電が途切れるか、数秒で放電が途切れる。MOT自身が電圧降下してるのだろうか？電圧計が一台しかないので現象の詳細がつかめない。